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PHENOM XL G3大倉室自動化掃描電鏡新品上市

瀏覽次數(shù):1660 發(fā)布日期:2025-9-8  來源:本站 本站原創(chuàng),轉載請注明出處

「特點速覽」
  • 穩(wěn)定可靠:80年頂尖技術傳承。
  • 獨家采用 CeB6 晶體燈絲:3000 h 超長使用壽命,平均 5 年換燈絲。
  • 面向工業(yè) 4.0 的自動化與 AI 智能掃描電鏡:開放編程接口,打造定制化的“黑燈實驗室”檢測流程,支持 Maps 地圖式多模態(tài)、多維度自動拼圖及關聯(lián)。
  • 不挑安裝環(huán)境:內置專利減震系統(tǒng),可直接放置于生產車間、高樓層 QC 實驗室等。
  • 原廠集成能譜 EDS:從電子光學設置、圖像采集到能譜分析和面分布,都在同一個統(tǒng)一、直觀的界面中完成。
  • 卓越的低電壓成像功能:對于不導電、導電性差、以及電子束敏感樣品,不噴金,仍具有卓越的成像能力。
 

01 80年頂尖技術傳承
Philips -> FEI -> Thermofisher


飛利浦時期(1939-1996)
  • 起源:1939 年,Le Poole 提出電子顯微鏡構想,1944 年成功開發(fā) 150kV 電子顯微鏡,奠定技術基礎。
  • 發(fā)展:1949 年推出第一臺商業(yè)化電鏡 EM100。后續(xù)不斷推出創(chuàng)新產品,如 1972 年進入 SEM 市場,推出 PSEM500。
 

FEI 時期 (1996-2016)
  • 合并:1997 年,飛利浦電子光學業(yè)務與 FEI 合并,獲得 ESEM 技術,技術實力增強。
  • 創(chuàng)新:2006 年推出全球首臺桌面型掃描電鏡--飛納(Phenom World),首次使用 1500h 長壽命 CeB6 燈絲。
賽默飛時期(2016-至今)
  • 收購:2016 年,F(xiàn)EI 被賽默飛收購。2018 年 Phenom World 被賽默飛收購,正式更名為 Thermo Scientific 品牌。
 
 
  • 傳承與發(fā)展:技術上繼承 FEI 創(chuàng)新成果,繼續(xù)提升性能,目前除了 CeB6 燈絲系列,還有臺式場發(fā)射電鏡系列,公安法醫(yī)等特定領域專用電鏡,產品線豐富,型號達數(shù)十種。


飛納電鏡從飛利浦到賽默飛,歷經近 80 年技術沉淀,從最初的構想與商業(yè)化,到不斷的技術創(chuàng)新與突破,始終在電子顯微鏡領域保持領先地位。

02 3000h CeB6 晶體燈絲
平均 5 年更換燈絲


擁有超長壽命核心部件,獨家采用 3000 小時高亮度六硼化鈰(CeB₆)燈絲,平均 5 年更換燈絲,確保設備 7×24 小時連續(xù)運行,減少維護頻率和持有成本,讓產線或實驗室長期穩(wěn)定運行無憂。
 
 
03 AI 智能掃描電鏡
面向工業(yè) 4.0 的自動化


從裝樣到出圖,僅需 1 分鐘,高測試效率,操作員無需漫長等待,檢測通量比傳統(tǒng)電鏡提升 5-10 倍,極大加速了 QC 判斷和研發(fā)迭代。

“深度集成,隨需而變”
開放的自動化接口,提供 Python 腳本控制 (PPI),可以無縫集成到客戶現(xiàn)有的自動化產線和 LIMS 系統(tǒng)中。精準的自動化馬達臺,結合軟件腳本,一次可容納 36 個樣品,打造“無人值守的質檢工廠”,自定義設定程序,在夜間或休息時間對大批量樣品進行自動拍照和分析,最大化設備利用率。

 

“一張圖看全貌,多點分析無遺漏”
在晶圓、濾膜、金屬斷口等大樣品上,自動獲取全景高清圖,并對預設的關鍵點位進行高倍率分析,確保檢測無死角。

 

從“看”到“算” 
專業(yè)的自動化分析軟件,ParticleMetric (顆粒統(tǒng)計)、FiberMetric (纖維統(tǒng)計) 等專用軟件。自動化完成需要人工數(shù)小時才能完成的顆粒度、形貌、尺寸分布等統(tǒng)計工作,輸出標準化報告,實現(xiàn)真正的量化品控。

 
 


04 不挑安裝環(huán)境
內置專利減震系統(tǒng),超強的環(huán)境適應性


內置專利減震系統(tǒng),對安裝環(huán)境要求低,無需防震臺,可直接放置于生產車間、樓層 QC 實驗室等,甚至可以車載,野外場景使用。節(jié)省實驗室改造費用,真正做到“買得起,更能用得好”。

飛納電鏡曾經參與冰島火山口、西班牙無人島等科學研究項目,是適用于最惡劣環(huán)境的便攜掃描電鏡。科研人員采集樣本回到帳篷中,利用飛納電鏡來確定樣本的化學構成,極大地提高了樣本采集和分析的效率。
 

05 原廠集成能譜 EDS
 

 
完全集成能譜探測器,所有操作:從電子光學設置、圖像采集到能譜分析和面分布,都在同一個統(tǒng)一、直觀的界面中完成。

ChemiSEM 彩色成像技術 
形貌圖像和元素數(shù)據(jù)實時同步,無縫調用。用戶可以在觀察形貌的同時,即時進行點、線、面分析,無需任何數(shù)據(jù)導入導出的步驟。

 
 
Phase Mapping 相分析軟件
專有的在線相分析軟件模塊 (Phase Mapping),利用強大的算法,根據(jù)每個像素點的元素定量結果,自動識別、分類并標定出不同的“相”或“化合物”。

 

06 卓越的低電壓成像功能
 
 
PhenomXL G3 配備了全新升級真空設計和背散射探測器 (BSD),優(yōu)化了低電壓下的靈敏度,提升了總體的信噪比 (S/N),對于不導電、導電性差、以及電子束敏感樣品,可以使用更低的束流進行拍攝,提升分辨率的同時,降低荷電效應帶來的影響。
 
由于整體信噪比的提升,我們可以使用更短的采集時間采集同樣質量的照片,在自動化工作流程中,高通量照片拍攝的總效率平均提升 30%。
 
 
電子陶瓷
  • 放大倍數(shù):1,000X
  • 5kV,未噴金,背散射電子像
  • 觀測到陶瓷內晶粒大小和空隙
 
CMOS 探測器
  • 放大倍數(shù):5,000X
  • 2kV,二次電子像
  • 可以清晰看到像素單元及表面污染物

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相關公司:復納科學儀器(上海)有限公司
聯(lián)系電話:400-857-8882
E-mail:cici.yang@phenom-china.com


標簽: 新品 掃描電鏡
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